C23C 14/00 - Покрытие вакуумным испарением, распылением металлов или ионным внедрением материала, образующего покрытие (разрядные трубки с устройствами для ввода объектов или материалов, подлежащих воздействию разряда H01J 37/00) [6]

---

14/02

.

предварительная обработка покрываемого материала (C23C 14/04 имеет преимущество) [4]

14/04

.

нанесение покрытия на выбранный участок поверхности, например с использованием масок [4]

14/06

.

характеризуемые покрывающим материалом (C23C 14/04 имеет преимущество) [4]

14/08

.

.

оксиды (C23C 14/10 имеет преимущество) [4]

14/10

.

.

стекло или кремнезем [4]

14/12

.

.

органический материал [4]

14/14

.

.

металлический материал, бор или кремний [4]

14/16

.

.

.

на металлическую подложку или на подложку из бора или кремния [4]

14/18

.

.

.

на другие неорганические подложки [4]

14/20

.

.

.

на органические подложки [4]

14/22

.

характеризуемые способом покрытия [4]

14/24

.

.

вакуумное испарение [4]

14/26

.

.

.

с использованием источника резистивного или индуктивного нагрева [4]

14/28

.

.

.

с использованием волновой энергии или облучения частицами (C23C 14/32-C23C 14/48 имеют преимущество) [4]

14/30

.

.

.

.

электронной бомбардировкой [4]

14/32

.

.

.

с использованием взрыва, испарения и последовательной ионизации паров (C23C 14/34-C23C 14/48 имеют преимущество) [4]

14/34

.

.

распыление металлов [4]

14/35

.

.

.

с использованием магнитного поля, например распыление магнетроном [5]

14/36

.

.

.

диодное распыление (C23C 14/35 имеет преимущество) [4,5]

14/38

.

.

.

.

с помощью тлеющего разряда постоянного тока [4]

14/40

.

.

.

.

с помощью разряда переменного тока, например высокочастотного разряда [4]

14/42

.

.

.

триодное распыление (C23C 14/35 имеет преимущество) [4,5]

14/44

.

.

.

.

с применением высоких частот и дополнительного постоянного напряжения [4]

14/46

.

.

.

с помощью ионного луча, получаемого от внешнего ионного источника (C23C 14/40 имеет преимущество) [4]

14/48

.

.

ионное внедрение [4]

14/50

.

.

держатели подложек [4]

14/52

.

.

средства наблюдения за процессом покрытия [4]

14/54

.

.

управление или регулирование способа нанесения покрытия (управление или регулирование вообще G05) [4]

14/56

.

.

устройства, специально приспособленные для непрерывного процесса покрытия; приспособления для поддержания вакуума, например вакуумные затворы [4]

14/58

.

последующая обработка [4]